Турбомолекулярные вакуумные насосы
Турбомолекулярные насосы серии SST: турбомолекулярные насосы малой производительности. Предназначены для достижения сверх-высокого вакуума, до 10-10 мбар абс. В них нет масел и трущихся частей, что делает их в высшей степени долговечными, надежными, экологически эффективными в работе и сводит к минимуму необходимость какого-либо технического обслуживания. Ряд турбонасосов включает стандартные модели SST, модели с высоковакуумным фланцем всасывания SST-UHV и компактные исполнения с ускоренным циклом запуска SST-K. Все насосы комплектуются блоками управления, которые представляют собой частотные преобразователи электропривода для разгона турбин до номинальных скоростей вращения. |
Технические данные | высоковакуумные турбомолекулярные насосы SST | |||||||||
SST 81 | SST 81 / 40 | SST 301 | SST 551 | SST 701 | SST 1001 | SST 301 K | SST 551 K | SST 701 K | SST 1001 K | |
Производительность, л/с (по N2, He, H2 | 77 / 65 / 50 | 50 / 56 / 50 | 280 /230 / 210 | 550 / 600 / 510 | 690 / 620 / 510 | 1050 / 900 / 920 | 280 / 230 / 210 | 550 / 600 / 510 | 690 / 620 / 510 | 1050 / 900 / 920 |
Предельный вакуум, мбар абс | 5 x 10-10 | 5 x 10-10 | 5 x 10-10 | 1 x 10-10 | 1 x 10-10 | 1 x 10-10 | 5 x 10-10 | 1 x 10-10 | 1 x 10-10 | 1 x 10-10 |
Скорость вращения турбины, об/мин | 13 500 | 13 500 | 56 000 | 42 000 | 42 000 | 38 000 | 56 000 | 42 000 | 42 000 | 38 000 |
Размеры фланцев, всас./выхл. | DN63 / DN16 | DN40 / DN16 | DN100 / DN16 | DN160 / DN25 | DN200 / DN25 | DN250 / DN40 | DN160 / DN16 | DN160 / DN25 | DN200 / DN25 | DN250 / DN40 |
Габаритные размеры, мм | ∅ 95 x 145 | ∅ 95 x 164 | ∅ 144 x 177 | ∅ 204 x 256 | ∅ 204 x 255 | ∅ 232 x 209 | ∅ 144 x 238 | ∅ 204 x 326 | ∅ 204 x 325 | ∅ 232 x 323 |
Вес, кг | 2,0 | 2,0 | 4,2 | 16,0 | 16,0 | 21,2 | 4,5 | 19,0 | 19,0 | 26,6 |