Вакуумные системы с турбомолекулярными насосами
Системы Pillar с турбомолекулярными насосами серии STP – это вакуумные системы, выполненные в виде автономных мобильных высоковакуумных откачных постов, созданных на основе современных высоковакуумных турбомолекулярных насосов SST 81 и SST 301. Они обеспечивают достижение вакуума порядка (1 х 10-7) мбар абс. в откачиваемых герметичных объемах. Для 1-й ступени форвакуумной откачки применяется 2-хступенчатый пластнчато-роторный маслоуплотняемый (системы STP/1) или сухой 3-хступенчатый мембранный (системы STP/D1) вакуумный насос. Системы STP снабжены контроллером измерения давления с Pirani-датчиком низкого вакуума. Запуск в работу турбомолекулярного насоса и его выключение выполняются автоматически через контроллер турбомолекулярного насоса. Запуск и выключение форвакуумных насосов производятся расположенными на них кнопками запуска. Дополнительно эти системы могут быть укомплектованы Penning-датчиком для измерения высокого вакуума, который работает от контроллера измерения давления. |
Технические данные | откачные высоковакуумные посты серий STP и STP/D | |||
STP/1 | STP/5 | STP/D1 | STP/D5 | |
Высоковакуумная производительность, л/с | 77 | 250 | 77 | 250 |
Предельный вакуум, мбар абс. | 5 х10-7 | 5 х10-7 | 5 х10-6 | 5 х10-6 |
Модель турбомолекулярного насоса и его производительность, л/сек |
SST 81 77 |
SST 301 250 |
SST 81 77 |
SST 301 250 |
Модель форвакуумного насоса и его производительность, м3/час |
P 4 Z 4,6 |
P 4 Z 4,6 |
MPC 601 Tp 4,5 |
MPC 601 Tp 4,5 |
Потребляемая мощность, кВт | 0,5 | 0,7 | 0,5 | 0,7 |
Габаритные размеры, мм | 500 х 480 х 680 | 500 х 480 х 680 | 480 х 500 х 700 | 480 х 500 х 700 |
Вес системы, кг | 20 | 25 | 20 | 25 |
Комплект поставки:
- турбомолекулярный насос
- PCB контроллер турбонасоса
- блок питания
- форвакуумный насос:
- пл.-роторный маслоуплотняемый для систем STP
- сухой мембранный для систем STP/D
- контроллер для измерения вакуума MRV_100
- датчик низкого вакуума CAP_121
- электромагнитный запорный клапан в форвакуумной линии
- клапан автоматического напуска атмосферы в турбонасос
- система воздушного охлаждения
- защитный INLET фильтр на всасывании
- комплект фитингов и креплений
- передвижная платформа со штативом
Компактные системы с турбомолекулярными насосами серии CDK – это вакуумные системы, выполненные в виде автономных компактных высоковакуумных откачных постов, собранных на основе модификаций современного высоковакуумного турбомолекулярного насоса SST 81. Они обеспечивают достижение вакуума порядка (1 х 10-8) мбар абс. в откачиваемых герметичных объемах. Для 1-й ступени форвакуумной откачки применяются миниатюрные сухие мембранные и поршневой вакуумные насосы. Системы CDK снабжены датчиками вакуума, запускаются в работу и выключаются полностью автоматически нажатием одной кнопки. Высоковакуумные посты STP оснащены встроенным контроллером управления с интерфейсом RS 232 с внешним выводом сигналов и общих данных для подключения в работу автоматизированных технологических линий и осуществления контроля техпроцессов в вакууме. Дополнительно CDK системы могут быть укомплектованы датчиками и контроллером для измерения низкого и высокого вакуума. |
Технические данные | откачные высоковакуумные посты серии CDK | |||||||
CDK 180 | CDK 180 UHV | CDK 280 | CDK 280 UHV | CDK 181 | CDK 181 UHV | CDK 281 | CDK 281 UHV | |
Высоковакуумная производительность, л/с | 50 | 50 | 77 | 77 | 50 | 50 | 77 | 77 |
Предельный вакуум, мбар абс. | 5 х 10-7 | 5 х 10-8 | 5 х 10-7 | 5 х 10-8 | 5 х 10-7 | 5 х 10-8 | 5 х 10-7 | 5 х 10-8 |
Модель турбомолекулярного насоса и его производительность, л/сек |
SST 81/40 50 |
SST 81/40 UHV 50 |
SST 81 77 |
SST 81 UHV 77 |
SST 81/40 50 |
SST 81/40 UHV 50 |
SST 81 77 |
SST 81 UHV 77 |
Модель форвакуумного насоса и его производительность, м3/час |
MPC 104 Tp 0,7 |
MPC 104 Tp 0,7 |
MPC 104 Tp 0,7 |
MPC 104 Tp 0,7 |
MP 030 Z и LK 41 1,5 |
MP 030 Z и LK 41 1,5 |
MP 030 Z и LK 41 1,5 |
MP 030 Z и LK 41 1,5 |
Потребляемая мощность, кВт | 0,4 | 0,4 | 0,4 | 0,4 | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
Габаритные размеры, мм | 193 х 344 х 400 | 193 х 344 х 398 | 193 х 344 х 400 | 193 х 344 х 400 | 193 х 414 х 404 | 193 х 414 х 404 | 193 х 414 х 385 | 193 х 414 х 385 |
Вес системы, кг | 13,7 | 14,7 | 13,7 | 14,7 | 15 | 16 | 15 | 16 |
Комплект поставки:
- турбомолекулярный насос SST 81
- PCB контроллер турбонасоса
- блок питания
- сухие форвакуумные насосы:
- мембранный для систем CDK 180 и 280
- мембранный в паре с поршневым для CDK 181 и 281
- система автоматического запуска турбонасоса
- электромагнитный запорный клапан в форвакуумной линии
- клапан автоматического напуска атмосферы в турбонасос
- система воздушного охлаждения
- встроенный процессор с интерфейсом RS 232
- защитный INLET фильтр на всасывании
- комплект фитингов и креплений
- металлический переносной корпус